Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition
- Författare
- André Anders
- (André Anders, editor., Includes bibliographical references and indexes)
- Genre
- Handböcker, manualer etc., Handbok
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley | 2000 | USA, New York | xxiii,736 sidor. ill. 25 cm |